日本松定高壓電源HMEC系列 | 靜電チャック用高圧電源

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日本松定高壓電源HMEC系列

型號(hào)：靜電チャック用高圧電源

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產(chǎn)品說明

靜電チャック用高圧電源

HMECシリーズは、靜電チャック専用に開発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號(hào)により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。

靜電チャック専用設(shè)計(jì)。
両極性切換式によるスムーズな剝離。
外部信號(hào)による出力極性、出力電圧の制御。
出力電圧電流モニタ付。

出　力			モデル名
電　圧[kV]	電　流[mA]	リップル[%rms]	モデル名
±1	10	0.1	HMEC-1R10
±1.5	6.6	0.1	HMEC-1.5R6.6
±2	5	0.1	HMEC-2R5
±3	3.3	0.1	HMEC-3R3.3
±5	2	0.1	HMEC-5R2
±10	1	0.1	HMEC-10R1